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真空鍍膜機(jī)鍍膜需要配備的幾個(gè)真空計(jì)

2021-12-29

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真空鍍膜腔體內(nèi)真空丈量是指用特定的儀器和安裝，對(duì)某一特定空間內(nèi)真空上下的測(cè)定。這種儀器或安裝稱為真空計(jì)（儀器、規(guī)管）。真空計(jì)的品種很多，通常按丈量原理可分為絕對(duì)真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)。凡經(jīng)過測(cè)定物理參數(shù)直接取得氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)均為絕對(duì)真空計(jì)，例如U型壓力計(jì)、緊縮式真空計(jì)等，這類真空計(jì)所丈量的物理參數(shù)與氣體成分無關(guān)，丈量比擬精確，但是在氣體壓強(qiáng)很低的狀況下，直接停止丈量是極端艱難的；而經(jīng)過丈量與壓強(qiáng)有關(guān)的物理量，并與絕對(duì)真空計(jì)比擬后得到壓強(qiáng)值的真空計(jì)則稱為相對(duì)真空計(jì)，如放電真空計(jì)，熱傳導(dǎo)真空計(jì)，電離真空計(jì)等，它的特性是丈量的精確度略差，而且和氣體的品種有關(guān)。在實(shí)踐消費(fèi)中，除真空校準(zhǔn)外，大都運(yùn)用相對(duì)真空計(jì)。本節(jié)主要對(duì)電阻真空計(jì)、熱偶真空計(jì)、電離真空計(jì)的工作原理、丈量范圍等停止引見。